Wie beschichtet die Ultraschall-Sprühdüse den Fotolack?
Sep 19, 2025
Die Ultraschall-Sprühbeschichtungstechnologie ist eine neue Technologie, die derzeit in verschiedenen Branchen eine bedeutende Rolle spielt. Mittlerweile entscheiden sich immer mehr Kunden für die Beschichtung mit Ultraschalldüsen. Im Vergleich zum herkömmlichen Zweistoffspritzen bietet das Ultraschallspritzen erhebliche Vorteile hinsichtlich der Beschichtungsqualität, der Materialausnutzung und der Prozesskompatibilität.
Unser Unternehmen bietet kostenlose Mustertests an und immer mehr Kunden schicken uns Muster zum Testen. Unsere Geräte haben von unseren Kunden positive Bewertungen und Anerkennung erhalten.
Heute besprechen wir das Ultraschall-Fotolackspritzen, eine relativ häufige Art des Materialspritzens.
Fotolack ist ein dünnes Filmmaterial, das licht- oder strahlungsempfindlich ist und hauptsächlich für die Feinstrukturierung in Bereichen wie integrierten Schaltkreisen und Anzeigetafeln verwendet wird. Es dient als ätz{1}beständige Beschichtung im Fotolithographieprozess. Seine Löslichkeit ändert sich bei Lichteinwirkung und es entsteht das gewünschte Schaltkreismuster. Fotolacke werden in positive -Töne (belichtete Bereiche lösen sich auf) und negative -Töne (unbelichtete Bereiche lösen sich auf) eingeteilt. Abhängig von der Belichtungslichtquelle werden sie in UV-, tiefes UV-, extremes UV- und Elektronenstrahlresists eingeteilt.
Der Kern der Ultraschall-Fotolackzerstäubungs-Sprühtechnologie ist die Verwendung von Ultraschallschwingungsenergie, um eine effiziente und gleichmäßige Zerstäubung des Fotolacks zu erreichen. Durch eine präzise Luftstromsteuerung werden die zerstäubten Tröpfchen dann auf die Substratoberfläche befördert und bilden eine hochwertige Beschichtung. Der Prozess kann in drei Hauptphasen unterteilt werden:
1. Zerstäubung des Fotolacks: Hochfrequente Vibrationen zerstören die Oberflächenspannung der Flüssigkeit.
Kernstück der Ultraschall-Sprühtechnik ist die Ultraschall-Zerstäuberdüse, in der sich ein piezoelektrischer Keramikvibrator befindet. Wenn ein hochfrequentes elektrisches Signal an den Vibrator angelegt wird, erzeugt dieser mechanische Vibrationen mit derselben Frequenz und überträgt die Vibrationsenergie auf die Zerstäubungsoberfläche der Düse. Nachdem der Fotolack über das Flüssigkeitszufuhrsystem an die Zerstäubungsoberfläche abgegeben wurde, bauen die hochfrequenten Vibrationen die Oberflächenspannung der Flüssigkeit schnell ab und bilden Tröpfchen in Mikrometergröße mit einem gleichmäßigen Durchmesser (typischerweise 5 μm–50 μm).
Im Vergleich zur herkömmlichen Druckzerstäubung (die zum Aufbrechen der Flüssigkeit auf einen Hochdruckluftstrom angewiesen ist) macht die Ultraschallzerstäubung die Notwendigkeit einer Störung des Hochdruckluftstroms überflüssig, was zu einer gleichmäßigeren Tröpfchengrößenverteilung (innerhalb von ±10 %) führt. Außerdem wird verhindert, dass Tröpfchen verspritzen oder die Substratoberfläche durch Luftströmungen gestört wird.
2. Präzise Steuerung des Übertragungspfades
Unser Unternehmen verfügt über professionelle Programmieringenieure, die den Zerstäubungssprühweg unabhängig programmieren können. Wir können auch verschiedene Sprühwege entsprechend den Kundenanforderungen anpassen. Wir verfügen über umfangreiche Erfahrung in der Herstellung kompletter Maschinen. Für jedes Gerät programmieren wir es für den Kunden. Auf dem Bildschirm sieht der Kunde den Sprühweg in Echtzeit. Zusätzlich zur Pfadauswahl müssen wir auch die Luftstromgeschwindigkeit (zur Steuerung des Übertragungsabstands, typischerweise 5-50 mm) und die relative Position von Düse und Substrat (mithilfe eines Roboterarms oder einer Translationsbühne zur dreidimensionalen Positionierung) anpassen. Wir stellen sicher, dass die zerstäubten Partikel die Substratoberfläche vertikal und gleichmäßig erreichen und eine ungleichmäßige Beschichtungsdicke aufgrund von Luftstromturbulenzen vermeiden.
3. Beschichtungsfilmbildung: Aushärtung bei niedriger-Temperatur gewährleistet strukturelle Integrität
Nachdem die zerstäubten Tröpfchen auf der Substratoberfläche abgeschieden wurden, durchlaufen sie einen Härtungsprozess bei niedriger{0}Temperatur (typischerweise 60 Grad -120 Grad, weit niedriger als die hohen Härtungstemperaturen der herkömmlichen Schleuderbeschichtung), um einen Film zu bilden. Die Aushärtung bei niedriger Temperatur verhindert nicht nur eine durch hohe Temperaturen verursachte Verformung des Substrats oder eine Materialverschlechterung, sondern reduziert auch die Ansammlung von Spannungen im Fotolack, wodurch die Haftung und strukturelle Integrität der Beschichtung verbessert wird und eine gute Grundlage für nachfolgende Fotolithographieprozesse gelegt wird.